1、停機前預凈化處理
在正式停機清潔前，可先通入惰性氣體或適配工況的清潔介質，對機組內部進行循環吹掃，帶走大部分殘留的工藝氣體與易揮發附著物，避免直接拆機時殘留介質溢出造成污染。如果被抽氣體帶有可凝性成分，也可通過通入干燥潔凈的冷卻介質，讓附著在轉子、泵腔內壁的冷凝物逐步松散，降低后續清潔的難度。
2、拆機與針對性清潔
確認機組完全斷電、內部壓力恢復至常壓后，依次拆除進排氣端的連接管路，做好各部件的位置標記以便后續精準回裝。清潔羅茨泵部分時，用柔軟的無掉屑清潔布配合適配的中性清潔劑，輕輕擦拭轉子表面與泵腔內壁的殘留附著物，注意避免刮傷轉子的精密工作面，同時清理傳動齒輪、軸承部位附著的油污與雜質。清潔螺桿泵部分時，可向泵腔內注入適配的清潔溶劑，手動緩慢轉動泵軸，讓溶劑充分接觸螺桿與泵腔的所有區域，充分浸泡后排出溶劑，重復操作直至排出的液體狀態清亮無明顯雜質。機組的外表面可搭配溫和清潔劑擦拭，去除長期運行積累的浮塵與油污。
3、潤滑與密封復位
清潔完成后，先排凈齒輪箱內的舊潤滑油，加入少量新油手動轉動軸體完成內部油路沖洗，再注入適配牌號的新潤滑油，保證潤滑狀態處于合理區間。重新組裝各部件時，在管路連接的密封面處均勻涂抹適配的密封膠，更換狀態老化的密封件，避免后續運行出現泄漏問題。
4、清潔后調試驗證
全部組裝完成后，先進行空載試運行，觀察機組運行狀態是否平穩，有無異常異響或振動，確認無異常后再進行真空度測試，驗證機組的抽氣性能是否恢復至正常狀態。日常運維中也可定期清理泵體表面的積塵，檢查進氣過濾器的狀態，根據工況及時更換濾芯，減少雜質進入泵腔的概率，延長機組的清潔周期與使用壽命。
